测辐射热计

       测辐射热计的工作原理为：目标发出含有自身温度信息的红外线辐射，辐射能量被测辐射热计吸收后转换为热能并引起热敏感电阻区域的温度升高，其电阻值发生相应变化，施加偏置电流就可以从电阻的改变得到电压的改变，从而实现光电转换。

       作为感知红外辐射与输出信号之间的桥梁，敏感电阻是室温红外探测器的核心部件。利用薄膜电阻的热电特性来测量红外辐射是目前的主要方法之一。因此研究温度灵敏度高、制备方法与常规IC工艺兼容的热敏感薄膜电阻材料是实现低成本高性能的室温红外探测器的关键。室温红外探测器的敏感材料和敏感元器件应用最为广泛的是氧化钒（Vox）薄膜电阻，非晶硅（a-Si）薄膜电阻。